Fab AMCs On-Line Monitoring System (FAMS) 란?
오염 사고로 인한 공정 이슈를 예방하고 환경 안전 관점에서 문제점 인지 능력을 강화하여
사고 대응 능력 향상을 도모하는 실시간 유해 물질 검출 시스템 입니다.
AMCs
Sampler
Point로부터 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하기 위한 공기를 포집하여, 감지 대상 가스가 포함되어 있는지 여부를 검출하는 복수의 가스 측정 모듈과 연결되어 제어하는 장비 입니다.
특징 및 장점
검출 가능 가스 多
SO₂, H₂S, TS, NOx, O₃, TVOC,
VOCs, NH₃, HF, HCl, etc.
VOCs, NH₃, HF, HCl, etc.
측정 포인트 수 선택 가능
4, 8, 16, 24개 포인트 선택 가능
(추가 협의로 상향 가능)
(추가 협의로 상향 가능)
빠른 반응성 및 정확성
분석기의 빠른 속도
정확한 측정값
빠른 샘플링 주기
NEOLAS 자체 프로그램
장비 원격 제어
데이터 트렌드 확인
실시간 누출 감지
데이터 트렌드 확인
실시간 누출 감지
고객의 필요에 따라 맞춤 Solution 제공 및 제작 가능
적용분야
반도체
디스플레이
제조 공정
Clean room
산업 환경
제품 SPEC
No. | Category | Description |
1
2
General
Electrical
AMC (Airborne Molecular Contamination) Sampler Unit |
220V~ |
3 | Materials | Steel (Powder Coating) |
4 | Operating Temperature Range | 5 ~ 40 ℃ |
5 | Operating Humidity | 10 ~ 80 % |
6 | Demension (WxDxH) | 440 x 520 x 250 |
7 | Weight | 20kg |
제품 Line up
| 순번 | Type | Model | Port |
1 | 샘플러 | NEO-S08I(NEOTOP-Sampler,08Port,Integration) | 8 |