AMCs 분석 설비
AMCs 란?
> Airborne Molecular Contamination (공기 중 분자 오염) 의 약자로서, 제품이나 공정에 해로운 영향을 끼치는 증기나 에어로졸 형태의 화학적 오염을 뜻합니다.
> 공기 중 오염이 제품이나 공정에 직접적인 영향을 미칠 수 있는 반도체나 디스플레이, 배터리 산업과 같은 첨단 산업에서 특히 AMC Monitoring System은 중요합니다.
> 실시간 AMC Monitoring 을 통해 시설의 정상 작동 여부를 확인하며, 시설 오염 시에도 신속한 대응을 통해 추가적인 물적/인적 피해를 막습니다.
AMCs 관리 필요성
불량 예방 및 피해 제한
● 실시간 Monitoring을 통한 공정 불량 예방
● Chemical Filter 의 성능 저하에 따른 공정 사고 발생 사전 감지 및 예방
● Chemical & Gas 누출 발생 시, 빠른 감지를 통한 사고 예방
● 환경 안전 관점에서 인명 피해 예방 및 사고 대응 능력 확보
● Glass Size 증대에 따른 사고 발생 시, 피해 비용 확대 제한
● 반도체 Photo 공정의 TMS 분석 및 실시간 모니터링
자사 설비의 특징 및 장점
1. Performance
- 산업 내 제어 표준을 상회하는 성능
- ppt~ppm 단위 분석 및 빠른 반응 속도
- 자체 클린룸 내 Calibration 등으로 설비 품질 저하 방지
2. Customization
- 고객사 요구 사항에 맞출 수 있는 모듈형 제품 제공
- 검출 필요 물질에 맞게 분석기 취사 선택 가능
- 일체형 / 분리형 제품으로 FAB내 공간 활용 극대화
- 이동형 제품과 핸드 캐리형 구비로 FAB 내 측정 사각지대 해소
3. Cost-Efficiency
- 소모품 제한적 사용으로 운영비 감소
- 안정적 System으로 MTBF 연장 및 운영의 편리함 확보
- IC방식 분석기 대비 초기 투자비 20~30% 절약
4. Total Solution
- 자체 Monitoring System 운영
- Sampler & Rack 제작
- Tube 포설 & Utility 견적 및 공사
- 전문 A/S 서비스
기본 구성
분석기
- 빠른 반응 속도
- 높은 정확도
- 분석기 취사 선택 가능
(SO₂, H₂S, TS, NOx, O₃, TVOC, VOCs, NH₃, HF, HCl, etc.)
샘플러
- 최고 품질의 테플론 자재로
흡착 최소화 및 반응성 향상
- 상시 Cleaning 진행으로
Memory Impact 최소화.
- 빠른 Cycle Time
NEOLAS 자체 프로그램
- 장비 원격 제어
- 데이터 트렌드 확인
(히스토리 및 그래프 제공)
- 포트 제어 (스케줄)
- 윈도우 7, 8, 10 호환
- 실시간 누출 감지
고객 지원 서비스
- 1년 무상 A/S
- 사용자 메뉴얼 제공
- 사용자 교육 제공
- 직원들의 높은 전문성
제품군
반도체 및 디스플레이 用
이동형 장비
외기 대기측정 시스템
VOC분석 시스템
분석기