Fab AMCs On-Line Monitoring System (FAMS) 란?
오염 사고로 인한 공정 이슈를 예방하고 환경 안전 관점에서 문제점 인지 능력을 강화하여
사고 대응 능력 향상을 도모하는 실시간 유해 물질 검출 시스템 입니다.
AMCs
반도체 및 디스플레이 用
하나의 장비로 FAB 내 구역 별 분석 포인트를 지정하여
극미량의 AMCs를 구역 별로 실시간으로 모니터링하고,
문제 발생 시 알람을 통해 인적/물적 사고 피해를 최소화하는
반도체 및 디스플레이 산업에 적합한 장비입니다.
* 반도체 및 디스플레이 공정의 미세화에 따라 AMCs에 의한 오염 영향성이 증가하고 있습니다. 대규모 환경에서 다양한 화학물질에 대해 모니터링이 필요한 반도체 및 디스플레이 산업에 적합합니다.
특징 및 장점
검출 가능 가스 多
SO₂, H₂S, TS, NOx, O₃, TVOC,
VOCs, NH₃, HF, HCl, etc.
VOCs, NH₃, HF, HCl, etc.
측정 포인트 수 선택 가능
4, 8, 16, 24개 포인트 선택 가능
(추가 협의로 상향 가능)
(추가 협의로 상향 가능)
빠른 반응성 및 정확성
분석기의 빠른 속도
정확한 측정값
빠른 샘플링 주기
NEOLAS 자체 프로그램
장비 원격 제어
데이터 트렌드 확인
실시간 누출 감지
데이터 트렌드 확인
실시간 누출 감지
고객의 필요에 따라 맞춤 Solution 제공 및 제작 가능
적용분야
반도체
디스플레이
제조 공정
Clean room
산업 환경
분석기 Line up
Div | HF/HCl | NH3 |
Model | GLA231-HFHCl  | GLA231-EAA |
Precision | HF < 0.1 ppb (1 sec) / HCl 0.3 ppb (1 sec) HF < 0.05 ppb (10 sec) / HCl 0.1 ppb (10 sec) HF < 0.025 ppb (100 sec) / HCl 0.035 ppb (100 sec) | < 1 ppb (1 sec) < 0.3 ppb (10 sec) < 0.1 ppb (100 sec) |
L.D.L | HF 0.075 ppb @ 100 sec HCl 0.1 ppb @ 100 sec data acquisition | 0.3 ppb @ 100 sec data acquisition |
Accuracy | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% |
Analyzer to analyzer variability | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% |
Measuring range | HF : 0.075 to 2,000 ppb HCl : 0.1 to 2,000 ppb | 0.3 to 10,000 ppb |
| Response Time | HF/HCl : T90/T10 < 25 sec | T90/T10 < 10 sec |
Div | SO2/H2S | Total Sulfur | NOx | O3 | NOx |
Model | T100  | T108  | T200  | T400  | N500 |
Measuring Principle | UV-Fluorescence | UV-Fluorescence | Chemi-luminesscence | UV Absorption | CAPS |
Flow Rate | 0.65 SLPM ± 10% | 0.65 SLPM ± 10% | 0.50 SLPM ± 10% | 0.80 SLPM ± 10% | 1000 cc/min ± 10 |
L.D.L | < 0.4 ppb | < 0.4 ppb | < 0.2 ppb | < 0.4 ppb | < 0.1 ppb |
| Measuring Range | 0~20,000 ppb | 0~20,000 ppb | 0~20,000 ppb | 0~10,000 ppb | 0- 1 ppm |
| Accuracy | ±0.5% of full scale | ±0.5% of full scale | ±0.5% of full scale | < 1% of reading/24h | 1% of full scale |
Measuring Time | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) |
Operating temperrature | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ |
Response Time (T95) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.3ppb(RMS) | < 0.3ppb(RMS) |
Rack System | 분석기(분석기+샘풀러) | 샘플러 | NEOLAS | UPS | 고객 서비스 |
Model / 주요특징 |
| FAMS-100/101 |  | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 최고품질의 테프론 자재흡착 최소화 상시 Cleaning Memory Impact 최소 (별도형) | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |
FAMS-A2000 |  | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 일체형 | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |
FAMS-P209/201 |  | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 일체형 | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |