Div | HF/HCl | NH3 |
Model | GLA231-HFHCl | GLA231-EAA |
Precision | HF < 0.1 ppb (1 sec) / HCl 0.3 ppb (1 sec) HF < 0.05 ppb (10 sec) / HCl 0.1 ppb (10 sec) HF < 0.025 ppb (100 sec) / HCl 0.035 ppb (100 sec) | < 1 ppb (1 sec) < 0.3 ppb (10 sec) < 0.1 ppb (100 sec) |
L.D.L | HF 0.075 ppb @ 100 sec HCl 0.1 ppb @ 100 sec data acquisition | 0.3 ppb @ 100 sec data acquisition |
Accuracy | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% |
Analyzer to analyzer variability | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% | > 10 ppb : ±1% < 10 ppb : ±1% < 2 ppb : ± 0.2 ppb Full scale = ± 1% |
Measuring range | HF : 0.075 to 2,000 ppb HCl : 0.1 to 2,000 ppb | 0.3 to 10,000 ppb |
Response Time | HF/HCl : T90/T10 < 25 sec | T90/T10 < 10 sec |
Div | SO2/H2S | Total Sulfur | NOx | O3 | NOx |
Model | T100 | T108 | T200 | T400 | N500 |
Measuring Principle | UV-Fluorescence | UV-Fluorescence | Chemi-luminesscence | UV Absorption | CAPS |
Flow Rate | 0.65 SLPM ± 10% | 0.65 SLPM ± 10% | 0.50 SLPM ± 10% | 0.80 SLPM ± 10% | 1000 cc/min ± 10 |
L.D.L | < 0.4 ppb | < 0.4 ppb | < 0.2 ppb | < 0.4 ppb | < 0.1 ppb |
Measuring Range | 0~20,000 ppb | 0~20,000 ppb | 0~20,000 ppb | 0~10,000 ppb | 0- 1 ppm |
Accuracy | ±0.5% of full scale | ±0.5% of full scale | ±0.5% of full scale | < 1% of reading/24h | 1% of full scale |
Measuring Time | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) | 1s~(User selectable) |
Operating temperrature | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ |
Response Time (T95) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.2ppb(RMS) | < 0.3ppb(RMS) | < 0.3ppb(RMS) |
Rack System | 분석기(분석기+샘풀러) | 샘플러 | NEOLAS | UPS | 고객 서비스 |
Model / 주요특징 |
FAMS-100/101 | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 최고품질의 테프론 자재흡착 최소화 상시 Cleaning Memory Impact 최소 (별도형) | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |
FAMS-A2000 | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 일체형 | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |
FAMS-P209/201 | 빠른 반응속도 높은 정확도 분석기 취사 선택 | 일체형 | 네오탑 자체 프로그램 장비 원격제어 데이터 트랜드 모니터링 자동 포트 제어 실시간 누출 감지 | - | 1년 무상 사용자 매뉴얼 제공, 사용자 교육 제공, 현장 CS 전문 인력 대응 |