회사 개요
주요 사업 분야
반도체, 디스플레이 클린룸 유해 가스 분석/제어 종합 솔루션 제공
> AMC 분석 및 감지 장비 :
클린룸 /플레넘 내 극미량의 AMC 오염을 감지하기 위한 Analyzer 및 Sampler 연계 시스템 개발
> 실시간 AMC Monitoring :
AMC 오염을 실시간 감지 및 분석하여 사고를 미연에 방지하여 생산성 및 수율의 감소, 인명 피해를 예방
> AMC 유해 가스 제거 장치 :
클린룸 외기 유입 정화, 내부 AMC 오염 사고 대응 및 고농도 오염 정화 장치 적용