VOC 분석기
측정 방법 : IMR-MS(Ion-Molecule Reaction Mass Spectroscopy)
측정 종류 : 150종의 유기물과 무기 성분 측정 가능
측정 시간 : 초 단위의 실시간 측정
검출 한계 : < 0.1 ppb
측정 범위 : sub ppt ~ ppm
특징 및 장점
매우 낮은 검출 한계
< 0.1 ppb (물질에 따라 상이)
빠른 반응 속도
T90 : < 20 msec
실시간 데이터 수집
>= 1msec/amu
최대 40종 실시간 분석
최대 40종 실시간 분석
자체 영점 조정
수동 영점 조절 불필요
납품 실적
반도체, 디스플레이 업계 납품
적용 분야
반도체
디스플레이
제조 공정
Clean room
산업 환경
제품 Line up
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NEO-AIRSENSE-500C |
VOC |
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| OCMS-S200 |
Photo EUV Monitoring SystemIn-Line SYSTEM |
▶ 특징 및 장점
• 매우 낮은 검출 한계 : ppt 단위의 측정 (Dynamic Range)
• Soft ionization : 14 eV 이하의 에너지를 사용하여 분자 이온의 fragmentation을 최소화 함
• Automatic Pressure Regulation : 0.1 ~ 대기압 범위까지 사용 가능
• Mass Range : 7~519 amu로 다양한 유기물 동시 분석 가능 (최대 40가지 이상의 유기물 동시 측정)
• Fast Response Time : T90 < 20 ms
• Temperature Control gas sampling : sample 가스의 흡착, 탈착 최소화
• 우수한 선형성 : Linearity ≒ 1.0
- Single 2-body reactive collision - 샘플가스의 이온화를 극대화
- Bulk gas의 이온화가 없으므로 간섭 최소화