이동형 유해 가스 처리장치
(LVS-40)
- 사용 목적
1. 반도체 Clean Room, 장비 PM 및 실험실 등에서 발생하는 Chemical/Gas Leak 사고 발생 時, 신속한 오염 Source 제거 및 2차 오염 확산 방지를 통해 사고 예방 및 피해를 최소화
2. CCS, Scrubber/Pump 밀집된 Sub FAB, Photo Zone(PR 냄새 제거)에 적용
- 특징 및 장점
1. Cleanroom 사용 가능(HEPA 필터 적용 – Option 항목)
2. KC(전자파) 인증 획득
3. 필터 수명 확인 가능
(LVS-40)
- 사용 목적
1. 반도체 Clean Room, 장비 PM 및 실험실 등에서 발생하는 Chemical/Gas Leak 사고 발생 時, 신속한 오염 Source 제거 및 2차 오염 확산 방지를 통해 사고 예방 및 피해를 최소화
2. CCS, Scrubber/Pump 밀집된 Sub FAB, Photo Zone(PR 냄새 제거)에 적용
- 특징 및 장점
1. Cleanroom 사용 가능(HEPA 필터 적용 – Option 항목)
2. KC(전자파) 인증 획득
3. 필터 수명 확인 가능